Gama de produse
Dec 02, 2025
Producția de napolitane de siliciu
Procesul de producție a vaferelor de siliciu
Oferim wafer-uri de siliciu de înaltă calitate-care sprijină industria semiconductoarelor la vârf. Materiile prime cu cel mai înalt nivel de calitate sunt utilizate ca material pentru vafer de siliciu. Napolitanele sunt produse sub cel mai strict control al calității pentru a crea produse care să răspundă nevoilor clienților în tot felul de moduri.
Fabricat din cele mai bune materii prime, pentru o calitate pe care se poate conta
Lingotul monocristalin
Placile de siliciu furnizate de noi sunt fabricate din lingouri de siliciu monocristalin de{0}}puritate ridicată, produse prin procesul de creștere a cristalelor Czochralski (CZ). Lingourile de până la 300 mm în diametru sunt fabricate conform standardelor stricte de control al calității.
La cererea clienților, folosim și metoda Magnetic Czochralski (MCZ), care implică aplicarea unui câmp magnetic puternic siliciului topit, sau metoda Float-Zone (FZ), în care lingourile monocristaline sunt cultivate la niveluri scăzute de oxigen fără utilizarea unui creuzet de cuarț.
Un lingou monocristalin este tăiat în felii de aproximativ 1 mm grosime, cu suprafețele lustruite până la un finisaj asemănător oglinzii. Drept urmare, napolitanele sunt incredibil de plate și curate. SUMCO poate încorpora, de asemenea, capacități de gettering în napolitană, ceea ce ajută la capturarea impurităților din metale grele care altfel ar putea degrada proprietățile electrice.
O napolitană lustruită este supusă unei recoaceri la temperatură ridicată într-o atmosferă de hidrogen sau argon, eliminând oxigenul de lângă suprafața plachetei. Napolitana rezultată a îmbunătățit perfecțiunea cristalului.
Pentru o calitate superioara
Stratul de suprafață al plachetei lustruite este format din siliciu monocristalin folosind creșterea în fază de vapori sau epitaxie.
În primul rând, designul clientului este utilizat pentru a crea un strat de încorporare pentru circuitele integrate pe suprafața plachetei, utilizând tehnici precum fotolitografia, implantarea ionică și difuzia termică. Apoi, deasupra acestui strat se formează un strat epitaxial.
Un strat de oxid cu proprietăți excelente de izolare electrică este plasat între două plachete lustruite, care sunt apoi legate între ele. Acest proces de legare permite crearea de dispozitive cu integrare ridicată, consum redus de energie, viteză mare și fiabilitate excepțională. În plus, se poate forma un strat de difuzie de arsen (As) sau antimoniu (Sb) în stratul activ de la suprafața plachetei.
La cererea clientului, napolitanele uzate pot fi luate înapoi și reciclate pentru reutilizare.
Tipuri și specificații de napolitane
| Tipul de napolitană | Napolitană lustruită | Napolitană recoaptă | Napolitană epitaxială | Napolitană izolată de joncțiune | Placa izolatoare-pe-de siliciu |
|---|---|---|---|---|---|
| Diametru (mm) | 100, 125, 150, 200, 300 | - | 150, 200, 300 | 100, 125, 150, 200, 300 | 150, 200 |
| Orientarea cristalului | <100>, <111>, <110> | <100>, <111>, <110> | <100>, <111>, <110> | <100>, <111>, <110> | <100>, <111>, <110> |
| Dopanți pentru reglarea conductibilității | B (bor), P (fosfor), Sb (antimoniu), As (arsen) | B, P, Sb, As | B, P, Sb, As | B, P, Sb, As | B, P, Sb, As |
